Mis on ULPA filter? Mille poolest see erineb HEPA-st ja kuhu igaüks kuulub

HEPA-filter vastavalt standardile EN 1822 viitab tavaliselt H13-le või H14-le. ULPA filter viitab U15, U16 või U17. Hüpe H14-lt U15-le tundub paberil väike, kuid läbitungimise mõttes on see suur samm. H14 võimaldab maksimaalset üldist läbitungimist 0,005%, samas kui U15 vähendab seda 0,0005%-ni. See tähendab 10-kordset lubatava läbitungimise vähendamist.

See on esimene asi, mida ostjad peaksid meeles pidama:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•Testi aluseks on MPPS, mitte lihtsalt lihtne 0,3 μm turundusavaldus

Suurem efektiivsus tähendab tavaliselt rangemat saastekontrolli, aga ka süsteemi suuremat tundlikkust õhuvoolu disaini ja rõhulanguse suhtes

EN 1822 efektiivsusklassid

Standardi EN 1822 kohaselt on tavaliselt viidatud kõrged{1}}efektiivsuse klassid:

•H13: 99,95% või suurem üldine tõhusus

•H14: 99,995% või suurem üldine tõhusus

•U15: 99,9995% või suurem üldine tõhusus

•U16: 99,99995% või suurem üldine efektiivsus

•U17: 99,999995% või suurem üldine tõhusus

Sama klassi tabel sisaldab ka kohalikke tõhususe / läbitungimispiiranguid, mis on olulised, kui lekete skaneerimine on osa aktsepteerimisnõudest.

Siit algab segadus.

Turul kirjeldavad paljud ULPA andmelehed jõudlust endiselt 99,9995% 0,12 μm juures. AAF-i tootekirjandus teeb seda otse ULPA moodulite ja kastifiltrite jaoks. See sõnastus on endiselt levinud ja paljudele inseneridele tuttav. Kuid formaalne klassifitseerimisloogika standardi EN 1822 / ISO 29463 alusel põhineb MPPS-i testimisel. See tähendab, et kõige ohutum viis toodete võrdlemiseks on:

•Kontrolli esmalt klassi: H14, U15, U16, U17

•Kinnitage katsestandard: EN 1822 / ISO 29463

•Seejärel vaadake üle, kuidas tarnija märgib andmelehel mõõdetud efektiivsuse

Mida U15 hüpe tegelikult tähendab

Meie insenerid näevad sageli ostjaid kohtlemasU15kui "natuke parem kui H14". See on parem kui see. Lubatud koguläbivus langeb ühe kümnendkoha võrra. Puhasruumi terminites on see oluline, kui protsess juba võitleb defektide tasemel, mitte ainult ruumi -mugavuse tasemel.

Tervishoid ja operatsioonisaalid: eesmärk on nakkustõrje, mitte vahvlite saagikus

Tervishoiu kujundamisel on peamine probleem õhu kaudu leviva nakkusohu, kirurgilise{0}}saaste, survesuhete ja puhta õhuvoolu üle kriitilise tsooni kontrollimine. ASHRAE tervishoiujuhistes öeldakse, etStandard 170 nõuab HEPA-filtreid ainult kaitsvates-keskkonnaruumides, mitte kõigis tervishoiuasutustes. Operatsioonitubade puhul on rõhk toitehajuti massiivil, õhuvoolumustril ja ruumi rõhul. Seetõttu keskenduvad tervishoiualased arutelud tavaliselt selleleHEPA, mitte ULPA.

On tervishoiutooteid, mis pakuvad valikulist ULPA jõudlust. Camfili operatsiooniruumi-ventilatsioonialases kirjanduses mainitakse mõnede süsteemide jaoks valikulisi ULPA-filtreid. Kuid see ei muuda laiemat reeglit:tervishoiu standardne etalon on HEPA{0}}klassi filtreerimine, samas kui ULPA on erijuhtum, mitte vaikevastus.

Pooljuhtide puhasruumid on erinevad. Camfili pooljuhtide juhistes kirjeldatakse ISO klassi 1 osakeste tasemeid sihivaid materjale koos õhus leviva molekulaarse saaste (AMC) range kontrolliga. Samuti tõstab see esile HEPA- ja ULPA-filtrite kasutamist sellistes rakendustes nagu litograafia, söövitus, difusioon, metalliseerimine, ioonide implanteerimine, kontrollitööriistad ja võrk- või vahvlihoidla. MANN+HUMMEL kirjeldab ka puhaste ruumide FFU-süsteeme, mis kasutavad H14 kuni U17 elemente.

Seetõttu liiguvad pooljuhtide ostjad sageli HEPA-lt ULPA-le:

•kriitilised osakeste suurused on väiksemad

•saagikadu on otseselt seotud nanomõõtmelise saastumisega

•tööriistad ja mini{0}}keskkonnad vajavad sageli rangemat kontrolli kui ümbritsev fab

•osakeste kõrval on oluline ka õhus leviv molekulaarne saaste

Lihtne reegel:
•Kui ruum kaitseb patsiendi ja personali töövoogu, on võrdluspunktiks tavaliselt HEPA.
• Kui ruum kaitseb vahvlit, maski, võrku või täiustatud protsessitööriista, muutub ULPA palju tavalisemaks

Ei. Mitte automaatselt.

Parem filter paberil ei ole alati parim insenertehniline valik selles valdkonnas.

Ostjad peaksid võrdlema ka:

•Esialgne takistus

•lubatud lõplik rõhulangus

•ventilaatori võimsus ja energiakulu

•õhuvoolu ühtlus

• pitseerimise ja skannimise{0}}testi nõuded

•gaasi väljutav käitumine

•kasutusoht, kui filter ummistub kiiremini või sunnib õhusüsteemi ümber kujundama

Meie insenerid näevad sageli, et ULPA on täpsustatud, kus H14 oleks täitnud tegelikud protsessinõuded madalama süsteemi takistuse ja madalamate tegevuskuludega. Juhtub ka vastupidine viga: HEPA kopeeritakse pooljuhtide või mikroelektroonika RFQ-sse lihtsalt seetõttu, et see on tuttavam termin. Kumbki otsetee pole hea hanketava.

See punkt jääb kogu aeg tähelepanuta.

Pooljuhtide ja mikroelektroonika keskkondades ei ole probleem ainult osakestes. See on ka molekulaarne vabanemine filtrist endast. Camfil ütleb, et tema pooljuhtide eelfiltrite sari on loodud kaitsma HEPA filtreid ilma boori vabastamata ning pooljuhtide jaoks mõeldud HEPA/ULPA tooted on loodud väga väikese gaasi väljalaskmise jaoks. AAF viitab samale seisukohale mikroelektroonika poolelt, väites, et boori-vaba ja keemiliselt inertne filtrikeskkond piirab mikroelektroonikat kahjustada{4}}gaasitamist. Hollingsworth & Vose kirjeldab ka oma madala -boorisisaldusega mikroklaasist kandjat, mis on mõeldud pooljuhttoodete puhastusruumide jaoks.

Pooljuhtide tootmises ei ole saastejälgede olemasolu teoreetiline. Õhus leviv molekulaarne saaste ja kemikaalide jäägid võivad mõjutada vahvlipindu, optikat ja protsessitööriistu. Camfil märgib selgesõnaliselt, et soovimatud reaktsioonid, mis hõlmavad happeid, aluseid, orgaanilisi aineid, tulekindlaid aineid jalisandidvõib tekitada defekte ja vähendada seadmete tõhusust. Boor on pooljuhtide töötlemisel lisandelement, nii et kontrollimatu boori eraldumine õhuteel olevatest materjalidest on täpselt selline, mida tootjad püüavad vältida.

Seetõttu küsivad elektroonikaostjad sageli:

•madal{0}}boormeedia

•madal{0}}gaaside väljutamineliimid ja komponendid

• ULPA või tipptasemel{0}}HEPA/ULPA moodulid, mis on loodud spetsiaalselt mikroelektroonika jaoks

•puhastusruumi filtrid, mis sobivad litograafia, söövitamise, õhukese kilega või kontrolltööriistade keskkondadega

See on oluline. Madala -boorisisaldusega filtrikandja pole igas puhasruumis vajalik.

See muutub oluliseks, kui:

protsess on pooljuht või mikroelektroonika

ostja haldab AMC-d ja materjalide väljalaskmist

fabil või tööriistatootjal on ranged keemilise puhtuse nõuded

saastumise jälgede hind on äärmiselt kõrge

Paljude farmaatsia-, haigla- või tavapäraste tööstuslike puhaste ruumide puhul ei pruugi see nõue pakkumistes kunagi ilmuda.

1. 0,3 μm HEPA võrdlemine 0,12 μm ULPA-ga ilma standardit kontrollimata

See on õunte{0}}apelsinide{1}}võrdlus, välja arvatud juhul, kui kinnitate märgitud testibaasi ja klassi. EN 1822 / ISO 29463 klassifikatsioon põhineb MPPS-il.

2. ULPA määramine, kuna see "kõlab ohutumalt"

Suurem efektiivsus ei ole tasuta uuendus, kui süsteem ei suuda rõhulangust absorbeerida või kui protsess seda ei vaja.

3. Gaaside väljutamise ja keemilise puhtuse ignoreerimine elektroonikas

Pooljuhtide rakendustes on filtri enda materjalid olulised. Madala-boori ja madala-gaasiheitega konstruktsioon võib olla sama oluline kui tõhususklass.

4. RFQ-sse "ULPA filter" kirjutamine ilma klassita

Tõsine RFQ peaks ütlemaU15, U16 või U17, pluss testi standard ja suurus.