Mis on ULPA filter? Kuidas see erineb HEPA-st ja kuhu see tegelikult kuulub?

ULPA-filter on ülimadala läbitungiga õhufilter, mis on klassifitseeritud EN 1822 rühma U alla. Klassipiirangud on järgmised:

•U15: integraalne efektiivsus 99,9995% või suurem

•U16: integraalne efektiivsus on suurem või võrdne 99,99995%

•U17: integraalne efektiivsus suurem või võrdne 99,999995%

See on formaalne klassifitseerimise pool. Turul näete ka ULPA tooteid, mida kirjeldatakse kui 99,9995% 0,1–0,2 μm või umbes 0,12 μm juures, eriti elektroonikale mõeldud puhaste ruumide paneeltoodete puhul. Näiteks pooljuhtide jaoks mõeldud madala -boorisisaldusega ULPA toode avaldatakse 99,9995% juures 0,1–0,2 μm juures ja paljudes võrdlusjuhendites kasutatakse ULPA arutelude praktilise võrdlusmõõduna 0,12 μm.

Kui ostjad küsivad U15 filtri tõhususe kohta, soovivad nad tavaliselt lühikest versiooni:

•U15 on sisenemise ULPA klass

•standardi EN 1822 järgi on selle integraalne efektiivsus 99,9995%.

•tootekirjanduses kirjeldatakse sageli umbes 0,1–0,2 μm jõudlust

• see on kõrgem kui H14 filtreerimise efektiivsuselt ja tavaliselt üle H14 ka esialgse takistuse ja maksumuse osas

Meie insenerid näevad sageli, et ostjad segavad kolme erinevat süsteemi:

•ISO 16890 / pärand EN 779 üldiste ventilatsioonifiltrite jaoks

•EN 1822 / ISO 29463 EPA, HEPA ja ULPA jaoks

• väliterminid nagu "meditsiiniline HEPA" või "puhasruum ULPA"

Ärge võrrelge aG4, MERV 8 või ePM1 filterkuni aU15 paneeljustkui kuuluksid nad samasse otsustuspuusse. Nad ei tee seda. ULPA kuulub turu absoluutsesse-filtri poole

Põhilist tõhususe puudujääki on lihtne välja tuua. Raskem osa on selgitada, mida see lünk süsteemiga teeb.

Vastavalt standardile EN 1822:

H13:99,95% või suurem

H14:99,995% või suurem

U15:Suurem või võrdne 99,9995%

U16:Suurem või võrdne 99,99995%

U17:Suurem või võrdne 99,999995%

See tähendab aULPA vs HEPA filterotsus ei puuduta ainult "puhtamat õhku". Tavaliselt mõjutab see:

Esialgne rõhulangus

ventilaatori valik

FFU ehk terminalimooduli energiakasutus

asendusintervalli ökonoomika

lekke{0}}testi ja kvalifikatsiooni ootused

kas protsess tõesti saab sellest viimasest efektiivsuse murdosast kasu

See kompromiss{0}} on sageli selgelt näidatud pooljuhtide puhasruumi tootesarjades. Nende mikroelektroonilised paneelid on saadaval suurustes H14 ja U15{5}}U17, mis rõhutavad madalat rõhulangust, ülimalt-madalat gaasieraldust ning sobivust mikroelektroonikapuhasruumidesse ja -seadmetesse. See illustreerib võimsalt, et kui sisenete pooljuhtide õhufiltreerimise valdkonda, ei käi arutelu enam ainult tahkete osakeste eemaldamise üle, vaid tahkete osakeste kontrolli, molekulaarse puhtuse ja energiatarbimise igakülgse kaalumise üle.

Lihtne{0}}ingliskeelne viis selle vaatamiseks

HEPA on sageli õige vastus, kui ruum on üles ehitatud infektsioonitõrje, tootekaitse või kõrge puhtuse ümber ilma äärmise osakeste tundlikkuseta.

ULPA on õige vastus, kui protsess on tundlik väiksemate osakeste, väiksema defektitaluvuse ja palju rangemate puhta ruumi sihtmärkide suhtes.

Seetõttu ei ole koondlause nagu "ULPA on parem" kasulik. Paljudes projektides on ULPA parem ainult siis, kui protsess suudab õigustada lisandunud rõhulangust ja kulusid.

Siin on rakendusloogika olulisem kui brošüüri keel.

Operatsiooniruumid ja tervishoiuruumid

ASHRAE 170 seab operatsioonisaalide filtreerimise baastasemeks minimaalselt MERV 16 ja see nõuab spetsiaalselt õhuterminali HEPA-filtreid teatud erijuhtudel VÕI, nagu ortopeedilised protseduurid, siirdamised, neurokirurgia ja spetsiaalsed põletusprotseduurid. Teisisõnu, tervishoiujuhised ei käsitle ULPA-d standardse VÕI disaini vaikevastusena. Isegi kui HEPA-d kasutatakse, on eesmärgiks infektsioonide-oht ja kaitstud õhuvool operatsioonivälja kohal, mitte pooljuht{5}}tase kaitse.

Nii et kui ostjad ütlevad, et "kirurgiaruumid kasutavad HEPA-d", on see üldiselt õige suund. Tervishoiuteenuste filtreerimise eesmärk on kõrge, kuid selle põhjuseks on patsiendi ohutus ja protseduuriline õhuvoolu disain, mitte vahvliprotsesside osakeste ja molekulaarne tundlikkus.

Pooljuhttooted ja täiustatud elektroonika

Pooljuhtrajatised on hoopis teine ​​maailm. Camfili pooljuhtide juhistes öeldakse, et fabs kasutavad täielikku filtreerimist ja AMC{1}}kontrollilahendusi, et alandada tahkete osakeste ja molekulide kontsentratsiooni ISO klassi 1 tasemetele osakeste puhul ja sub-ppb tasemetele õhu kaudu leviva molekulaarse saaste puhul. Nende elektroonikale{5}}keskendunud puhasruumi paneele pakutakse HEPA H14 ja ULPA U15, U16, U17, spetsiaalselt mikroelektroonikatööstusele ja ülimalt{10}}väljuvate komponentidega.

Seetõttu liigub täiustatud kiibi tootmine sageli HEPA-st kaugemale ja ULPA-sse, eriti kriitilistes protsessipiirkondades, tööriistade mini{0}}keskkondades, litograafiapiirkondades või muudes tehnilistes osades, kus väiksemad osakesed ja molekulaarne saaste mõjutavad otseselt saagist. Praktiline viis seda öelda on järgmine:

haigla kaitseb patsiente ja protseduure

laastukangas kaitseb saagikust palju rangema defektiläve juures

Sama sõna: puhas. Väga erinev lävi.

See on üks detaile, mida paljud mitte-{0}}elektroonikaostjad igatsevad.

Pooljuhtide puhastes ruumides ei saa filtrit käsitleda kui inertset kasti. Filter ise võib muutuda saasteallikaks, kui kandja või komponendid väljutavad soovimatud lisandid või molekulaarsed saasteained.

1991. aastal läbi viidud räni mikroelektroonika uurimus näitas, et õhus leviv boorsaaste tuvastati kõrge efektiivsusega tahkete osakeste õhufiltrites borosilikaatklaasiga. Hilisemates tööstuse aruannetes märgiti, et traditsioonilised klaas-kiudmaterjalide tarnijad töötasid välja madala-boorisisaldusega tooteid ja need kandjad saavutasid pooljuhtide nõuete tõttu turul heakskiidu.

See taust selgitab, miks kaasaegsed elektroonika-klassi ULPA tooted rõhutavad madalat-boori, lisandite-vaba või ülimalt-vähe gaasi tekitavat konstruktsiooni. Üks praegune madala -boorisisaldusega ULPA toode, mis on ette nähtud alam-14 nm pooljuhtrakenduste jaoks, väidab, et madala -boorisisaldusega klaas-kiudmaterjalid takistavad filtriga{10}}kanduvat boorisaastet ja hoiatavad konkreetselt, et standardse ULPA kandja boor võib eralduda suure{11}{1}õhuvoolu ja ebapuhtuse korral. Camfil esitab samasuguse punkti teisest küljest, propageerides oma mikroelektroonika puhasruumide paneelides ülimadalaid gaasieraldusi{14}}lisandeid sisaldavaid komponente.

Kui teie projekt on:

•vahvlite valmistamine

•litograafia

•fotoresist kate / kokkupuude

•täiustatud pakend

• mikroelektroonika tööriistad või mini{0}}keskkonnad

siis peaks vestlus ulatuma kaugemaleULPA efektiivsusja sisaldab:

•madala -boorisisaldusega kandja

•lisa{0}}vaba ehitus

•madal{0}}orgaaniline gaas

•ühilduvus AMC{0}}juhtimisstrateegiaga

Pooljuhtõhu filtreerimiseks pole see luksuskaup. See on osa protsessikaitsest.

Meie insenerid alustavad tavaliselt rakendusest, mitte filtriklassist.

Esmalt esitame neli küsimust:

•Mis on ruumi või protsessitsooni puhtuseesmärk?

•Kas protsess on tundlik peamiselt biokoormuse, osakeste või molekulaarse saaste suhtes?

•Kas süsteem suudab absorbeerida suuremat rõhulangust, mis tavaliselt kaasneb tihedamate filtritega?

•Kas projekt on tervishoiu/farmaatsia või mikroelektroonika/pooljuhtide valdkonnas?

Hiljuti aitasime Kagu-Aasias asuvat klienti, kes taotles algselt kogu projekti jooksul U15, kuna nende meeskond eeldas, et "kõrgem hinne tähendab ohutumat". Selgus, et ULPA-d vajasid ainult kriitilised mikroelektroonilise protsessi valdkonnad. Tugipiirkonnad võiksid jääda HEPA-klassi terminalifiltratsioonile. See muudatus vähendab nii fännide koormust kui ka filtrite eelarvet, ilma et see nõrgestaks tegelikku protsessi{5}}riskikontrolli.

See on tavaliselt õige lähenemine. Kasutage ULPA-d seal, kus see lahendab tõelise probleemi. Ärge levitage seda kõikjale, kui protsess seda tõesti ei vaja.

Enne spetsifikatsiooni lõplikku vormistamist kontrollige järgmisi punkte:

Standard: EN 1822 / ISO 29463, mitte üldised-ventilatsioonistandardid

Klass: H13, H14, U15, U16 või U17 sõltuvalt protsessi vajadusest

Tõhususe alus: MPPS ja avaldatud terviklik efektiivsus

Algsurve langus: sobitatud ventilaatori, FFU või klemmimooduliga

Kasutusala: kirurgia/tervishoid, farmaatsia, pooljuht- või tööriistakeskkond

Kandja risk: standardklaaskandja, madala-boorisisaldusega klaaskandja või lisanditeta-membraani kandja

Konstruktsioon: vähese{0}}gaasi tekitavad komponendid, kui neid kasutatakse elektroonikakeskkondades

Lekketestimine: kontrollitakse individuaalselt{0}}kui rakendus seda nõuab